真空技術

真空技術

弊社がもっとも得意としている技術のひとつに真空技術があります。
ここではその真空技術にいて取り上げ解説します。


真空技術の効果

真空技術の一般的効果は次のとおりです
1.力学的効果
 圧力差を発生させて、無菌状態で吸引、充填を可能にする

2.物理的効果
 真空にすることによって、熱伝導率を変えたり光の屈折率を変える液体の蒸発を促進する効果

3.化学的効果
 酸化防止や抗菌効果によって、食品等の品質維持する効果

4.放電効果
 減圧後、他の気体を充填し、電極間に高電圧や高周波を加えて放電を実現する

5.自由空間効果
 減圧による気体を減らすことによってイオンの透過性がよくなる事

6.洗浄表面効果
 減圧によりシリコンウェハなどへの残留分子の侵入確率を減らし半導体素子の品質を向上させる事


真空技術の応用分野

・半導体・液晶産業:シリコンウェアは表面評価
 エッチング後の断面の観察
・自動車工業:真空熱処理、真空蒸着、ろう付け
 電子ビーム溶接、自動真空漏れ探し
・化学工業・薬品工業:油脂等の蒸留脱ガス
 医薬品の凍結乾燥・蒸留脱臭等
・食品工業:乾燥蒸留、脱気、真空包装、真空冷却、貯蔵

一般に産業界では、真空装置のことは産業の米と呼ばれており、どの産業でも必要とされる技術なのです


弊社でご提供する真空技術

弊社が社会にご提供できる真空技術の概要は次のとおりです。
 1.真空容器:半導体向けの真空製造装置に必要な金属製の容器のこと
 2.真空チャンバー:真空チャンバーとは、小さな真空装置の集合体
 3.真空タンク:乾燥、保温用のための気体の維持に用いる断熱タンクのこと
 4.試作、セミオーダー品:お客様の用途、ご希望、仕様に合わせた弊社技術のカスタマイズ