リークディテクター(アルバック)【HELIOT 901W】

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リークディテクター(アルバック)【HELIOT 901W】

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【スペック】

検出ガス 4He, 2H2
最小可検リーク量
(4He)[Pa・m3/sec]
<5E-13
リーク量表示範囲
Pa・m3/sec]
4He  0.01E-12~E-3台
2H2  0.01E-8~E-5台
テストポート排気速度
(4He)[L/sec]
5
最大接続圧力[Pa] <1200
主排気ポンプ[L/sec] ターボ分子ポンプ:31
粗引きポンプ
排気速度(50Hz/60Hz)[L/min]
油回転:30/36